由分光亮度计测量的光谱反射率和光谱透射率计算出基板或薄膜的nk。

  1. 计算无吸收的基板的折射率(n)
    计算没有膜的基板的折射率。
    在基板上无吸收时使用。
    需要是单面mat基板或双面研磨基板。
  2. 计算具有吸收作用的基板的折射率(n),吸收系数(k)和内部透射率(Ti)
    在基板上有吸收时使用。
    需要是单面mat基板或双面研磨基板。
  3. 单层膜的nk分析
    从光谱反射率和光谱透射率,通过对色散公式进行曲线拟合来分析膜的n,k和膜厚度(d)。
    添加了仅分析正常色散(折射率随波长变短而增加色散)的选项。
  4. 单层金属薄膜的nk计算
    由正面反射率和背面反射率算出金属膜的nk。
    膜必须足够厚且透射率为零。